产品名称：光学3D表面轮廓仪

• 光学Zoom：1×，（0.75×，0.5×可选）
• 影像系统：1024×1024
• 干涉物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×
• XY平台移动范围：140×110mm
• 控制方式：电动
• Z轴行程：100mm
• Z向扫描范围：10mm
• Z向扫描速度：>45μm/s
• Z向分辨率：0.1nm
• 可测样品反射率：0.05%-100%
• 水平调整：±5°，手动
• 粗糙度RMS重复性：0.005nm
• 台阶高测量：准确度＜0.7%，重复性＜0.1% 1σ
•